N11系列直線(xiàn)壓電馬達(dá)采用粘滑原理，將 PZT 壓電陶瓷的微運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為毫米級(jí)長(zhǎng)行程。它的體積非常小巧，僅 15×15×7mm^3。而它的行程卻可高達(dá) 3.6mm，非常適用于受限空間中毫米范圍行程的調(diào)整應(yīng)用。

產(chǎn)品特點(diǎn)

 行程可達(dá) 3.6mm

 一至三維可選

 體積小、重量輕

 速度可達(dá) 2mm/s

 斷電自鎖

產(chǎn)品應(yīng)用

 超分辨成像樣品移動(dòng)

 微納裝備及制造

 掃描電鏡（SEM）樣品操縱

 納米聚焦與掃描

 集成電路制造與檢測(cè)

 顯微及納米 CT

 大范圍電子束直寫(xiě)（EBL）

 高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿

N11系列直線(xiàn)壓電馬達(dá)